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納米石墨粉-石墨槽舟是什么
發(fā)布時間:2021-09-07
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許多貴重金屬和稀有金屬冶煉用的坩堝、熔化石英玻璃等所用的石墨化坩堝,也都是用石墨化坯料加工制成的。作為耐火材料使用的炭和石墨制品,一般不應在氧化性氣氛中使用。各部件在裝配前必須清理和清洗干凈,不得有毛刺、油污、和灰塵等。螺紋部分需用螺紋規(guī)檢測。

CT156-21片石墨舟檢驗標準主要有以下12個要點:1、舟片厚度要求2.5±0.02mm,表面不應有劃痕、擦傷等損傷零件表面的缺陷。2、石墨配件裝配面平行度控制在0.02mm,比如石墨塊厚度24.5±0.02mm。3、陶瓷管高度11±0.01mm,配面平行度控制在0.01mm。4、陶瓷螺桿、石墨螺桿的直線度保證在0.1mm。螺紋部分需用螺紋規(guī)檢測。5、工藝卡點頭部不得有毛刺,工藝卡點尺寸與舟片孔過盈配合,不得脫落,工藝卡點兩頭與舟片對稱。6、螺帽、螺母螺紋部分不得有崩角。7、各部件在裝配前必須清理和清洗干凈,不得有毛刺、油污、和灰塵等。8、裝配前應對零、部件的主要配合尺寸,及相關精度進行復查。9、裝配時所有配件必須按圖紙進行裝配,各個配件不得隨意更換。10、螺桿、螺帽和螺母緊固時,嚴禁打擊或使用不合適的旋具和扳手。必須采用力矩扳手,并按規(guī)定的擰緊力矩緊固。緊固后螺桿、螺母頭部不得損壞。11、整舟尺寸,長度1370±0.3mm寬度(到舟片)272.5±0.2mm高度261.8±0.5mm,內腿間距167.5±0.2mm,電極孔高度方向間距90±0.2mm,寬度方向9±0.2mm。12、整舟裝配完畢后,須檢查各配件是否裝配到位,配件和舟耳不得有臺階。


石墨舟冷卻房是用于太陽能行業(yè)與PECVD承載車配套,經過濾的潔凈空氣用送風機分散吹向石墨舟,保證石墨舟快速冷卻,冷卻時間小于等于10分鐘。10、螺桿、螺帽和螺母緊固時,嚴禁打擊或使用不合適的旋具和扳手。


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